ASML将发全新光刻机,售价26亿一台
本文已影响2.79W人
本文已影响2.79W人
ASML将发全新光刻机,售价26亿一台,按照之前的说法,ASML正在研发新款光刻机,价值高达4亿美元(约合26亿元人民币),ASML将发全新光刻机,售价26亿一台。
ASML将发全新光刻机,售价26亿一台1
据 semiwiki 日前的报道,截至 2022 年第一季度,ASML 已出货 136 个 EUV 系统,约曝光 7000 万个晶圆已曝光(如下图)。
台积电在早前的技术大会上则表示,在全球已经安装的 EUV 光刻机系统中,台积电拥有了其中的 55%。三星的实际控制人李在镕日前则拜访了荷兰总统,以寻找更多的 EUV 供应。
这再次说明,生产先进芯片必不可少的 EUV 成为了全球关注的目标。在日前的一些报道中,我们也看到了 EUV 光刻机的一些路线图更新。
0.33NA EUV 的新进展
报道中表示, 0.33 NA 的 EUV 系统是当今前沿光刻的主力生产系统。先进的逻辑和 DRAM 都在使用 0.33 NA 的系统大批量生产。下图说明了逻辑和 DRAM(条)的 EUV 层数和每年使用 EUV 曝光的晶圆(面积)。
据 ASML 公司的 Mike Lercel 介绍 ,以典型的 5nm 工艺为例,2021 年的逻辑值是 10 层以上 EUV 层,到 2023 年的 3nm 将会有 20 层的 EUV 层,而 DRAM 目前的 EUV 层使用量约为 5 层。
Mike Lercel 还谈到了未来 DRAM 曝光的展望,他指出,不就之后 DRAM 上有大约会有 8 个关键层,最终其中一些层可能需要多重图案化,使每个晶圆的 EUV 曝光达到 10 层。
从报道中可以看到,新型号的 EUV 光刻机系统 NXE:3600D 将能达到 93% 的可用性,这将让其进一步接近 DUV 光刻机(95% 的可用性)。
数据显示,NXE:3600D 系统每小时可生产 160 个晶圆 ( wph ) ,速度为 30mJ/cm?,这比 NXE:3400C 高 18%。二正在开发的 NXE:3800E 系统最初将以 30mJ/cm? 的速度提供大过 195wph 的产能,并在吞吐量升级后达到 220wph。
据介绍,NXE:3600E 将在像差、重叠和吞吐量方面进行渐进式光学改进。
从 semiwi 的报道中我们可以看到,在 0.33 NA 的 EUV 光刻机领域,ASML 路线图包括到 2025 年左右推出吞吐量约为 220wph 的 NXE:4000F。按照 EUV 执行副总裁 Christophe Fouquet 在参加高盛虚拟峰会的时候的说法,公司之所以把新设备称它为 F,因为 ASML 也希望通过该设备能显著提高生产力,这主要归功于公司希望在该系统的功率上能够更进一步。
至于产能的增加幅度,Christophe Fouquet 表示,这可能会达到 10% 到 20%,但他们依然还没有最终确定。不过 ASML 目前计划在 2025 年左右交付第一个 NXE:4000F 系统。
semiwiki 在文章中表示,对于 0.33 NA 系统,ASML 正致力于通过增加吞吐量和降低总能量来减少每次曝光所需的功耗,而双重图案甚至也将成为 0.33NA 光刻机需要发力的一个方面。
如在之前的报道中指出,在发力 0.33 NA 光刻机的时候,ASML 也在加快 0.55 NA 光刻机的进度。而继英特尔表示将在 2025 年使用上 High-NA 光刻机之后,台积电在日前也将 High-NA 光刻机的应用时间放在 2024 年。这无疑是大大提升了先进 EUV 光刻机的应用时间。
因为从相关资料可以看到, 0.33 NA 的常规 EUV 光刻机从原型机出货(2010 年)到量产机出货(2019 年)用了大约 10 年时间。如果相关报道属实,那就意味着 0.55 NA 的 high NA EUV 光刻机从原型机出货(2023 年)到量产机出货(2026 年)只需要短短的三年。
ASML将发全新光刻机,售价26亿一台2
对于芯片厂商而言,光刻机显得至关重要,而ASML也在积极布局新的技术。据外媒报道称,截至 2022 年第一季度,ASML已出货136个EUV系统。
按照官方的说法,新型号的EUV光刻机系统 NXE:3600D将能达到93%的可用性,这将让其进一步接近DUV光刻机(95%的可用性)。
数据显示,NXE:3600D系统每小时可生产160个晶圆 (wph),速度为30mJ/cm,这比 NXE:3400C高18%。二正在开发的 NXE:3800E系统最初将以30mJ/cm的速度提供大过195wph的产能,并在吞吐量升级后达到220wph。
据介绍,NXE:3600E 将在像差、重叠和吞吐量方面进行渐进式光学改进,而在0.33 NA的EUV光刻机领域,ASML路线图包括到2025年左右推出吞吐量约为220wph的NXE:4000F。
对于0.55 NA的光刻机,需要更新的不但是其光刻机系统。同时还需要在光掩模、光刻胶叠层和图案转移工艺等方面齐头并进,才能让新设备应用成为可能。
根据ASML 在一季度财务会议上披露的数据,公司的目标是在2022年出货55台EUV系统,并到2025年实现(最多)90台工具的计划。ASML同时还承认, 90台可能超过2025年的实际需求,不过他们将其描述为为满足2030年1万亿美元半导体行业需求所做出的.巨大努力。
按照之前的说法,ASML正在研发新款光刻机,价值高达4亿美元(约合26亿元人民币),双层巴士大、重超200吨。原型机预计2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出货。
这款机器应该指的就是High-NA EXE:5200(0.55NA),Intel是全球第一个下单的公司。所谓High-NA也就是高数值孔径,2nm之后的节点都得依赖它实现。
ASML将发全新光刻机,售价26亿一台3
当前,全球具备5nm及以下制程芯片制造实力的晶圆制造企业,正在展开一场投资超600亿美元、以纳米乃至原子厚度为目标的先进制程竞赛。
近期,2nm等先进芯片发展备受行业关注。
6月17日台积电举行的技术论坛上,晶圆代工龙头台积电(TSMC)首次披露,到2024年,台积电将拥有阿斯麦(ASML)最先进的高数值孔径极紫外(high-NA EUV)光刻机,用于生产纳米片晶体管(GAAFET)架构的2nm(N2)芯片,预计在2025年量产。
与此同时,6月初被美国总统拜登亚洲行接见后,紧接着,韩国三星电子副会长李在镕又马不停蹄奔赴欧洲,有报道指三星电子在阿斯麦获得了十多台EUV光刻机,并于本周起大规模生产3nm芯片,而2nm将于2025年量产。
尽管量产2nm芯片依然还需时日,但此时此刻,台积电、三星电子两家芯片大厂不约而同的寻求下一代EUV光刻机,意味着现在“2nm技术战”已经打响。
“到了未来的技术节点,间距微缩将减缓,硅晶体管似乎只能安全地微缩至2nm,而在那之后,我们可能就会开始使用石墨烯。”芯片制造的核心软件EDA巨头新思科技(Synopsys)研究专家Victor Moroz的这句话道出了2nm技术的重要性:2nm是硅芯片的最后一战。
阿斯麦(ASML)最新研发的高数值孔径极紫外光(high-NA EUV)光刻机,是2nm工艺的关键工具,成为三星、台积电争夺的焦点。
光刻机被誉为“皇冠上的明珠”,其利用特殊的光源和玻璃,将晶体管和设计好的电路图投射到硅芯片,来绘制芯片电路,其大小相当于一辆公交车,一家先进芯片工厂通常需要9~18台这样的设备。
芯片制造离不开光刻机,且制程越先进,其重要性越凸出,占芯片制造总成本比例也越高,总体来看,光刻机的成本占总设备成本的30%。
没有EUV光刻机,就无法制造先进制程芯片。而目前EUV光刻孔径为0.33NA,最多制造3nm芯片。
随着芯片越来越精密,更高数值的孔径意味着更小的光线入射角度,也意味着能够用来制造尺寸更小、速度更快的芯片。如今,三星、台积电都希望通过获得下一代EUV光刻机,从而在未来2nm技术竞争上占据优势。
最先进的高数值孔径EUV光刻机,目前只有ASML能够生产。然而,光刻机设备开发难度很大,一年只能生产十几台。随着全球芯片短缺,ASML不得不延迟交付,产能有限,厂商们要买到,并不容易。
此次李在镕到访欧洲,主要目的之一就是到荷兰采购ASML下一代EUV光刻机。更早之前,英特尔CEO基辛格为了能追赶台积电、三星,不止是投资入股阿斯麦公司,还提早花高价订购EUV光刻机制造产能。
据ASML公布的数据,新的EXE:5000系列high-NA EUV光刻机,镜头数值孔径从0.33NA变为0.55NA,孔径大小增加了67%,有望实现8nm的分辨率。预计这种设备非常复杂、非常大且价格昂贵——每台的成本将超过4亿美元。
vans style 36什么时候发售?vans权志龙同款发售日期
SmartisanOS发文官宣回归,将推新品
adidas originals nmd r1 stlt 全新配色球鞋多少钱什么时候发售
AirPods Pro 2新机曝光,将新增多项功能
SpaceX估值达到1250亿美元,或将发行新股
adidas climacool 清风系列全新配色什么时候发售多少钱
ARM出售交易告吹,软银将获至多12.5亿美元“分手费”
air max97 fragment design Sample版什么时候发售 air max97藤原浩Sample版谍照
耐克Air Max 1 Wmns Sandy Suede发售价格 AM1 Sandy Suede发售时间
adidas originals hu nmd trail 全新配色什么时候发售多少钱
adidas harden vol1 mvp哈登最新款什么时候发售多少钱
converse all star 70 hi plaid什么时候发售 converse all star 70 hi plaid发售价格时间
国产大飞机C919价格曝光:仅售6.53亿
苹果新机iPhone 5e曝光 售价3288元起
AMD拟将向台积电、格芯等供应商支付 65 亿美元
aj1 Mid Obsidian配色什么时候发售 aj1 Mid Obsidian售价发售时间
aj1 Mid SE Coral Suede什么时候发售 aj1 Mid SE珊瑚粉图片谍照
2022年Msi转线上,LPL赛区将在国内参赛
台积电将扩张2nm产能,拟投资1万亿
中国广电SIM卡曝光,或将6月放号192号段
传三星Galaxy S23将使用 2 亿像素摄像头
LPL季后赛将延期至12日,MSI或将弃赛
adidas 与 Parley全新联名 adizero prime 跑鞋什么时候发售多少钱
耐克KD12 Black Cemen配色发售时间 耐克KD12 Black Cemen发售价
glamglow发光面膜价格 glamglow发光面膜白罐使用方法
Meta发布新款AI超级计算机,或将成世界最快
nike air max 95 rebel skulls骷髅头什么时候发售?
zoom kobe 1usa新配色什么时候发售 zoom kobe 1usa发售价格和时间
Apple Watch S7最新售价
5G手机售价曝光:揭晓5G手机优点和缺点
世嘉退出街机历史舞台,GANDA将完全控股
WWDC大会或将发布iOS 16及全新Mac
Galaxy S21官翻机上架开售
郭台铭身价蒸发268亿 台股跌幅今创史上新高
谷歌Pixel 6A正式发布,售价449美元
adidas kamanda发售价格时间 adidas kamanda多少钱
adidas stan smith sock新款粉色袜子鞋会发售吗?
售价高达2.6亿 全球十款有价无市的绝版跑车盘点
aj6黑红复刻2019发售价格 今年第一双重磅复刻
melissa是哪里的牌子?melissa是什么价位?
aj32final什么时候发售 aj32final发售日期价格
aj1 mid黑黄什么时候发售 aj1 mid Yellow Toe售价图片谍照
puma solar eclipse 日食主题鞋款什么时候发售多少钱